全自动影像仪测量平面度的量测和传统的还是有蛮大的改进，全自动影像测量仪利用光的反射原理，通过图像传感器拍摄工件影像进行处理测量。而传统的 CMM 利用接触式测头获取空间点坐标，通过计算得到被测物体的几何参数。
　全自动影像测量仪一次就可以获取工件部分图像，通过测量软件可快速完成图像上各点的测量，而接触式坐标测量机每次触碰工件只能获取一个测量点，因此在很多场合全自动影像测量仪的测量效率要高于接触式坐标测量机。
平面度测量的常用的方法及测量原理
水平仪测量法：水平仪是一种测量小角度的常用量具。在行业和仪表制造中,用于测量相对于水平位置的倾斜角、机床类设备导轨的平面度和直线度、设备安装的水平位置和垂直位置等。按水平仪的外形不同可分为：框式水平仪和尺式水平仪两种；按水准器的固定方式又可分为：可调式水平仪和不可调式水平仪。

常用水平仪：广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置，记录各测点的数据，费时、费力，调整时间长，数据处理程序繁琐。
打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放在标准上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法：三点法是用被测实际表面上相距远的三点所决定的理想平面作为评定基准面，实测时先将被测实际表面上相距远的三点调整到与标准平板等高；对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高。然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的大变动量即为该实际表面的平面度误差。
打表法测量同轴典型应用为平板测微仪及三坐标仪，其中优以三坐标仪为应用广泛。测量时指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低，通常一个样品需要几分钟，离15ppm的期望相差甚远。